BROOKS流量控制器SLAMF53S2GAB3K2A2

希而科工业控制设备（上海）有限公司

希而科贸易（上海）有限公司

上海市浦东新区王桥路999号中邦商务园1034-1035幢

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一、BROOKS品牌介绍

📌 品牌概述

Brooks Instrument 是一家美国工业仪表品牌，专注于：

👉 流量测量与控制技术（Flow Measurement & Control）

其核心产品覆盖：

* 质量流量控制器（MFC / Mass Flow Controller）

* 质量流量计（MFM）

* 科里奥利流量控制器

* 转子流量计（Rotameter）

* 压力控制器与真空测量设备

是全球工业流量控制领域的头部品牌之一。 

🧠 品牌发展历史

* 1946年成立，最初叫 Brooks Rotameter Company

* 起家产品：玻璃转子流量计（Rotameter）

* 1950s–1980s：扩展至工业流量计全系列

* 逐步进入控制领域（半导体、制药）

* 2012年加入 ITW集团，进入全球工业体系  

🆚  行业对标品牌

Brooks 与以下品牌竞争：

* MKS Instruments

* HORIBA

* Bronkhorst

* Alicat Scientific

* SMC（部分领域）

二、BROOKS产品经营范围

⚙️ 核心产品体系

🔹 ① 质量流量控制器（MFC，核心产品）

* 热式 MFC（Thermal Mass Flow Controller）

* 科里奥利 MFC（Quantim 系列）

👉 应用于：

* 半导体工艺气体

* 实验室气体控制

* 高纯气体配比系统

🔹 ② 科里奥利流量控制器

* 直接测“真实质量流量"

* 可测气体 + 液体

* 高精度闭环控制（Quantim 系列）

🔹 ③ 转子流量计（Rotameter）

* 经典玻璃 / 金属管流量计

* 工业现场广泛使用

🔹 ④ 压力与真空产品

* 压力控制器

* 真空计

* 流体辅助控制模块

🌟  技术优势

✅ 精度

尤其在低流量气体控制领域。

✅ 半导体级应用能力

全球大量半导体设备使用其 MFC。

✅ 多技术路线并存

热式 + 科里奥利 + 压力控制一体化。

✅ 高稳定性与重复性

适合长周期工业过程。

🏭 主要应用行业

🧪 半导体制造（核心市场）

* CVD / PECVD / ALD 工艺气体控制

💊 制药行业

* 精密配气 / 配液

🔬 实验室与科研

* 气体分析系统

⚗️ 化工与能源

* 过程气体控制

* 反应釜进料控制

🔋 新能源

* 电池材料工艺控制

三、BROOKS热销产品型号

四、BROOKS流量控制器SLAMF53S2GAB3K2A2产品介绍

📌 产品概述

Brooks SLAMF53S2GAB3K2A2 属于美国 Brooks Instrument（布鲁克斯） 的：

👉 SLA5800 / SLAMF 系列数字式热式质量流量控制器（MFC）

该系列是工业标准级气体流量控制设备，广泛用于：

✔ 半导体工艺气体控制

✔ 实验室精密配气系统

✔ 工业自动化气体流量调节

✔ 真空及分析设备

属于 SLA5800 平台的定制配置型号（MF = Multi-Function / Modified Flow variant）。

⚙️  产品类型定位

该设备本质为：

👉 热式质量流量控制器（Thermal Mass Flow Controller）

功能包括：

* 精确测量气体质量流量

* 内置比例阀闭环控制

* 支持多气体标定

* 数字/模拟信号输出

🌟 核心优势

✅ ① 工业级高精度控制

适合半导体与实验室级工艺。

✅ ② 多气体兼容

支持 O₂ / N₂ / Ar / H₂ 等（需标定）。

✅ ③ 数字化程度高

支持工业总线（Profibus / EtherCAT 等）。

✅ ④ 高稳定性

长期漂移小，适合连续工艺运行。

✅ ⑤ SLA5800成熟平台

全球半导体行业广泛使用。

🏭  典型应用行业

🧪 半导体制造（核心应用）

* CVD / PECVD

* 蚀刻气体控制

* 载气与反应气体配比

💊 制药与生物工艺

* 发酵气体控制

* 精密配气系统

🔬 实验室与分析设备

* 气相色谱供气

* 反应实验控制

⚗️ 工业过程控制

* 特种气体流量控制

* 真空系统配气

五. 希而科介绍
希而科（SilkRoad24）的发展起源于1999年，最初在德国布伦瑞克市成立德国Silkroad24 GmbH，“希而科"为“Silk"的中文音译。其创始人CHEN GANG拥有同济大学研究生及德国达姆施塔特大学工科硕士学位，曾在德国西门子汽车部门及德国大众沃尔夫斯堡总部任职近12年，对德国工业自动化、大规模生产及物流领域有着深入的了解。

2005年，希而科商务咨询（上海）有限公司在上海成立，初期作为瑞士Baumer、德国 Ahlborn、Knick、Honsberg 等多家欧洲企业的中国代理，积累了服务中国工业自动化行业的经验，并确立“以客户需求为出发点"的服务宗旨。2006年，为响应中国客户对德国工业品零配件的需求，希而科贸易（上海）有限公司在浦东成立，依托德国总部资源及与当地供应商的长期合作优势，在代理品牌之外，开展德国工业品备品备件代理采购业务，通过德国源头拼单、集中仓储、欧盟集中报关等创新模式，大幅降低客户采购附加费用。

2014年，希而科工业控制设备（上海）有限公司成立，公司规模扩大至近百人，迁入中邦商务园2000平方米办公大楼。此后，公司持续推进智能询报价体系建设，致力于满足客户在无仓储情况下对德国工业品零配件价格、货期的预知与供应需求。2019年，希而科成为德国海外商会联盟成员企业，进一步强化行业合作与服务能力。

长期以来，希而科秉持“让德国先进技术高效、经济地进入中国，推动中国自控工业与世界直接沟通"的宗旨，在德国工业品备品备件供应领域保持稳定发展。

代理品牌：Honsberg、Seneca、Ahlborn、AirCom、ADZ、AK Regeltechnik、ASA-RT、BTR、Beck、Proxitron、EGE、Fischer、FSG、Funke、Fuhrmeister、Hennig、Klaschka、Hohner、Holthausen、G.Bee、Lambrecht、Pantron、PMA、SCHMIDT Technology、Stoerk、Winkelmann、Wiesemann & Theis…